teknoloji TFT devlope nan ane 1990 yo. Li adopte nouvo materyel ak nouvo pwosesis pou semiconductor gwo-echel tout-entegre manifakti teknoloji. Li se itilize pou kristal likid (LC), inoganik ak oganik mens-fim elektwolimines (EL ak OEL) montre panel plat. Baz. TFT se yon waf ki pa sel tankou yon ve oswa sibstans plastik (nan kou, li kapab tou sou yon waf) atrave pwosesis depo chimik yo fome dives kalite fim ki nesese pou sikui fabrikasyon, ak gwo-echel semiconductor entegre sikwi (LSIC) yo fabrike pa pwosesis fim yo. . Itilize nan ki pa sel kristal kristal ka anpil redwi depans, epi li se yon ekstansyon nan sikwi gwo-echel tradisyonel entegre nan gwo-zon, milti-fonksyon, ak direksyon ki ba-pri. Li se pi plis teknikman difisil fabrike TFTs ki kontwole pefomans nan oblije chanje nan piksel (LC oswa OLED) sou gwo-zon ve oswa substrates plastik pase nan fabrike gwo-echel IC sou miray silikon. Kondisyon yo pou anviwonman an pwodiksyon (degre pirifikasyon se 100), kondisyon yo pou pite materyel anvan tout koreksyon (pite a nan gaz espesyal elektwonik se 99.99985%), ak kondisyon yo pou ekipman pwodiksyon ak teknoloji pwodiksyon depase entegrasyon an gwo-echel nan segonde. Li se tet la nan pwodiksyon gwo-echel moden. Teknoloji. Karakteristik prensipal li yo se:
(1) Gwo zon: Te premye jenerasyon nan gwo-zon soustrate (300mm×400mm) TFT-LCD liy pwodiksyon te mete nan pwodiksyon nan ane 1990 yo byen bone. Pa mwatye nan premye nan 2000, zon nan nan substra a ve te elaji nan 680mm×80mm), ak gwose a nan substra a ve te 950mm×1200mm. Pral substrate nan ve ap tou dwe mete nan operasyon. Nan prensip, pa gen okenn limit zon.
(2) Entegrasyon segonde: 1.3-pous TFT chip yo itilize pou pwojeksyon kristal likid gen yon rezolisyon nan XGA ki gen de milyon de piksel. Epese a fim nan 16.1-pous TFT etalaj amorphe silicon ak yon rezolisyon nan SXGA (1280×1024) se selman 50nm, ak TAB LA SOU GLASS ak SISTEM SOU teknoloji GLASS, entegrasyon an nan IC li yo, kondisyon yo pou ekipman ak teknoloji bay, ak difikilte a teknik tout depase LSI a tradisyonel.
(3) Fonksyon pwisan: TFT te premye itilize kom yon sikwi kote matris amelyore karakteristik yo limye valv nan kristal likid. Pou montre-wo rezolisyon, nan regleman voltaj nan seri a nan 0-6V (tipikman 0.2 4V), egzak kontwol nan obje a reyalize, fe li posib pou LCD reyalize-wo kalite ak ekspozisyon segonde-wo rezolisyon. TFT-LCD se ekspozisyon an panel plat premye nan istwa imen ki depase CRT nan bon jan kalite ekspozisyon. Ak moun komanse entegre IC nan chofe sou substrate nan ve, ak fonksyon an nan TFT a tout antye ap pi pwisan, ki se depaman pa tradisyonel semiconductor gwo-echel sikwi entegre.
(4) Pri ki ba: ve a soustraksyon ak sikui yo plastik fondamantalman rezoud pwoblem nan pri gwo-echel semiconductor entegre sikui, epi louvri moute yon espas aplikasyon laj pou aplikasyon an nan gwo-echel semiconductor entegre sikwi.
